電子探針、掃描電鏡顯微分析學習資料

2013-07-23

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電子光學系統包括電子槍、電磁透鏡、消像散器和掃描線圈等。其功能是產生一定能量的電子束、足夠大的電子束流、盡可能小的電子束直徑，產生一個穩定的X 射線激發源。